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[任天堂股价]沈阳半导体装备产业成立技术创新联盟——优势互补组团成长（新征程新期待）

wx 2023-02-27 11:36:22 6

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双臂，四指，真空机械手有节奏地弹性旋转。“弹性动作3.2秒，旋转90度1.5秒，旋转180度2.2秒……”沈阳新松机器人股份有限公司半导体事业部工程师，正在实验室盯梢数据、调试产品。“这是新松第一次对外供给双臂真空机械手。”公司事业部副总裁杨奇峰介绍，这个产品专为沈阳拓荆科技有限公司的半导体薄膜设备开发。拓荆科技和新松机器人都是沈阳半导体配备工业技能立异战略联盟的骨干成员，处于沈阳半导体工业链的上下游。

“拓荆担任双臂真空机械手的需求导入与运用验证，新松担任产品研制，面向市场、客户导向，研制过程中边开发边测验。”杨奇峰说，“依据客户需求，通过3个多月攻关，现在新产品已进入测验阶段。研制效果也丰厚了新松的产品系列，将提高终端厂的产能，完成共赢。”

半导体配备工业被誉为制造业皇冠上的明珠，工业链细分环节多、专业性强，这也意味着技能研制的高投入。2008年，沈阳半导体配备工业技能立异战略联盟在沈阳高新区管委会的支撑推进下正式建立，之后高新区安排联盟骨干成员联合申报承当国家严重专项，在安排项目、研制过程中，经授权能够合理运用联盟其他成员的专利技能。

真空机械手是影响整机研制进展和产品竞争力的要害部件，杨奇峰和他的团队一点都不敢忽略。

“在客户运用环境中产品仍然保持稳定、牢靠才行，这还需求很多验证。”杨奇峰说，“关于新产品，越少人用，产品的稳定性和牢靠性就越难做上去。正是国家项目支撑、联盟企业互相宽恕，帮咱们度过了开始的成绩堆集期。新松的单臂真空机械手现在已批量运用于国内干流半导体工艺设备。”

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