股票代码:688120 发行价:136.66元
5月26日:大盘仍处于强势之中 短线有望延
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公司中心研发团队针对纳米级抛光、纳米颗粒超洁净清洗、纳米精度膜厚在线检测、智能化操控等CMP设备中心要害技能获得了有用打破和系统布局,打破了国外巨子的技能独占,真实完成了国内市场CMP设备范畴的国产代替。
公司研发的CMP设备产品全面掩盖集成电路制作过程中的非金属介质CMP、金属薄膜CMP、硅CMP等抛光工艺并获得量产使用,高端CMP设备的工艺技能水平已在14nm制程验证中,形成了硬件+技能服务的全方位系统。到2021年12月31日,公司具有国内外授权专利209项,其间发明专利114项、实用新型专利95项,具有软件著作权7项;公司CMP设备已累计出货超140台,未发出产品的在手订单超70台,设备已广泛使用于中芯世界、长江存储、华虹集团、英特尔、长鑫存储、厦门联芯、广州粤芯、上海积塔等国内外先进集成电路制作商的大出产线中。