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wx 2022-10-30 22:44:17 6

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一、热处理设备分类

热处理首要包含氧化、分散和退火工艺。氧化是一种添加工艺，是将硅片放入高温炉中，参加氧气与之反响，在晶圆外表构成二氧化硅。分散是经过分子热运动使物质由高浓度区移向低浓度区，使用分散工艺能够在硅衬底中掺杂特定的掺杂物，然后改动半导体的导电率，但与离子注入比较分散掺杂不能独立操控掺杂物浓度和结深，因而现在使用越来越少。退火是一种加热进程，经过加热使晶圆发生特定的物理和化学变化，并在晶圆外表添加或移除少数物质。若设备形状区分，炉管设备可分为卧式炉、立式炉和快速热处理炉三类。

热处理设备分类

材料来历：华经工业研讨院收拾

二、热处理设备职业商场规模

半导体热处理热备包含快速热处理、氧化/分散炉和栅门堆叠设备。依据数据显现，2020年全球热处理设备商场规模15.37亿美元，其间快速热处理商场7.19亿美元，氧化/分散设备商场5.52亿美元，栅极堆叠设备商场2.66亿美元。跟着半导体国产化进程的加快，估计到2025年全球热处理设备商场规模将到达19.91亿美元，其间快速热处理商场9.37亿美元，氧化/分散设备商场7.1亿美元，栅极堆叠设备商场3.44亿美元。

2019-2025年全球半导体热处理设备分类商场规模

材料来历：揭露材料收拾

相关陈述：华经工业研讨院发布的《2021-2026年我国热处理设备职业开展监测及出资战略规划研讨陈述》

三、热处理设备竞赛格式

全球热处理设备全体商场呈现出寡头独占的格式，其间美国的使用材料，日本的东京电子和日立世界电气（Kokusai）三家别离占有全球热处理设备商场46%、21%和15%的商场份额，此外我国的屹唐股份占比5%，北方华创占比0.2%。

全球热处理设备商场格式

材料来历：揭露材料收拾

单看快速热处理RTP设备，依据数据显现，使用材料仍然是全球榜首大快速热处理RTP设备供货商，占有了69.7%的商场份额，而我国的屹唐股份也占有11.5%的商场份额，仅次于排名榜首的使用材料。

全球快速热处理RTP设备商场格式

材料来历：揭露材料收拾

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四、北方华创长江存储设备中标剖析

2020年以来，国内芯片供应链受美国出口控制的影响，进一步加快导入国产化设备。以长江存储设备招中标状况为例，到2021年6月30日，刻蚀机、薄膜堆积和氧化/分散/热处理累计投标数别离达379台、675台和241台，国产化率约16%，相较2020年10%的国产化率进一步提高，其间ICP等离子体刻蚀机累计195台，国产化率达19%，北方华创ICP刻蚀设备在长江存储所占份额达12%。

北方华创中标长江存储设备状况

材料来历：揭露材料收拾

从长江存储的投标状况来看，热处理设备还是以国外厂商设备为主，国内厂商北方华创市占率逐年上升，到本年10月，从设备数量来看，北方华创热处理设备在长江存储的占比现已超过了30%，屹唐半导体占比1%。

长江存储热处理设备中标份额

材料来历：揭露材料收拾

华经工业研讨院对我国热处理设备职业的开展现状、工业链开展格式及商场供需局势进行了具体剖析，并从职业的方针环境、经济环境、社会环境及技能环境等方面剖析职业面对的机会及应战。还要点剖析了要点企业的运营现状及开展格式，并对未来几年职业的开展趋向进行了专业的预判。为企业、科研、出资组织等单位了解职业最新开展动态及竞赛格式，掌握职业未来开展方向供给了专业的辅导和主张。更多具体内容，请重视华经工业研讨院研讨出书的《2021-2026年我国热处理设备职业出资剖析及开展战略研讨咨询陈述》。

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