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成交龙虎榜_微导纳米 股吧

wx头像 wx 2022-03-10 15:01:24 6
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本报记者 李春莲

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近来，《证券日报》记者得悉，江苏微导纳米科技股份有限公司（以下简称微导）喜获来自某先进半导芯片制作企业的首个订单，行将交给首台用于先进技能节点的原子层堆积（ALD）量产设备。

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该产品聚集全IC制作商场，为逻辑、存储等超大集成电路制作供给要害工艺技能和解决方案。尤其是在国内顶级半导芯片制作方面，产品技能可掩盖45纳米到5纳米以下技能节点所必需的高介电常数栅氧层ALD工艺需求，填补了该范畴无国产设备的空白。

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2020年，作为国内顶级微纳制作中心配备企业，微导迎来了一个新的重要里程碑：再一次打破技能“无人区”，自主研制的凤凰系列ALD薄膜堆积体系成功完成量产化，专用于先进超大集成电路（VLSI）制作所需各类ALD薄膜堆积工艺。当时顶级半导芯片制作必需选用的极少数ALD设备技能仅对用户供给单一或特定工艺制程。

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不同于此，微导经过自主立异，在产品规划性能上力求逾越，使该产品具有强壮的资料择功用，可供给包含HfO2，ZrO2，Al2O3，SiO2，Ta2O5，TiO2，La2O3，ZnO，TiN，以及AlN等多种工艺功用。其可用于FINFET结构栅氧层的高介电常数资料（HfO2）的12寸晶圆工艺已达到片内及片间薄膜厚度均匀性均在1%以内，无可勘探的氯、碳杂质含量，工艺性能不仅可满意当时45-14nm技能节点需求，更重要的是该产品可进行10nm甚至5nm以下技能节点的工艺资料晋级，为客户供给在顶级芯片规划和制作进程更多的中心工艺择性，从而为更好的提高要害制作技能发和知识产权维护供给重要保障。

微导副董事长、CTO黎微明士表明，微导推出的ALD设备面向全商场，将改变长以来半导先进制程要害工艺被极少数配备制作商独占的现状，为顶级半导制作供给了更多择，同对国内的半导产业链生长具有极大的含义。待首台ALD设备在客户产线可以以最速度顺导入量产，以此为起点和客户一同树立先进制程发和制作才能。微导还将推出一系列半导范畴ALD技能和配备，用于逻辑、存储、特工艺、化物半导等芯片制作，力求成为ALD技能产业化使用的先行者与领导者。

（修改 乔川川）

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