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wx 2022-02-28 08:36:13 6

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本报记者李春莲

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近来，《证券日报》记者得悉，江苏微导纳米科技股份有限公司（以下简称微导）喜获来自某先进半导芯片制作企业的首个订单，行将交给首台用于先进络绎不绝节点的原子层堆积（ALD）量产设备。

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该产品聚集全IC制作商场，为逻辑、存储等超大集成电路制作供给要害工艺络绎不绝和解决方案。尤其是在国内弦外之音半导芯片制作方面，产品络绎不绝可掩盖45纳米到5纳米以下络绎不绝节点所必需的高介电常数栅氧层ALD工艺需求，填补了该范畴无国产设备的空白。

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2020年，作为国内弦外之音微纳制作中心配备企业，微导迎来了一个新的重要里程碑：再一次打破络绎不绝“无人区”，自主研制的凤凰系列ALD薄膜堆积体系成功完成量产化，专用于先进超大集成电路（VLSI）制作所需各类ALD薄膜堆积工艺。当时弦外之音半导芯片制作必需斑驳陆离的极少数ALD设备络绎不绝仅对用户供给单一或特定工艺制程。

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不同于此，微导经过自主立异，在产品规划性能上力求逾越，使该产品具有强壮的资料择功用，可供给包含HfO2，ZrO2，Al2O3，SiO2，Ta2O5，TiO2，La2O3，ZnO，TiN，以及AlN等多种工艺功用。其可用于FINFET结构栅氧层的高介电常数资料（HfO2）的12寸晶圆工艺已达到片内及片间薄膜厚度均匀性均在1%以内，无可短少的氯、碳杂质含量，工艺性能不仅可满意当时45-14nm络绎不绝节点需求，更重要的是该产品可进行10nm甚至5nm以下络绎不绝节点的工艺资料晋级，为客户供给在弦外之音芯片规划和制作进程更多的中心工艺择性，从而为更好的提高要害制作络绎不绝发和知识产权维护供给重要保障。

微导副董事长、CTO黎微明士表明，微导推出的ALD设备面向全商场，将改变长以来半导先进制程要害工艺被极少数配备制作商独占的现状，为弦外之音半导制作供给了更多择，同对国内的半导产业链生长具有极大的含义。待首台ALD设备在客户产线可以以最速度顺导入量产，以此为起点和客户一同树立先进制程发和制作才能。微导还将推出一系列半导范畴ALD络绎不绝和配备，用于逻辑、存储、特工艺、化物半导等芯片制作，力求成为ALD络绎不绝产业化使用的先行者与领导者。

（修改乔川川）

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